Cả haiMáy bơm chân khônglà các thiết bị để xử lý khí, nhưng các nguyên tắc làm việc và phạm vi ứng dụng của chúng là khác nhau.
Chức năng chính của bơm chân không là loại bỏ khí ra khỏi buồng phản ứng để giảm áp suất trong thùng chứa để đạt được mức độ chân không được xác định trước. Khí được chiết xuất từ không gian thông qua cơ chế hút và ống xả để tạo thành trạng thái chân không. Máy bơm chân không thường được sử dụng trong các phòng thí nghiệm, sản xuất và sản xuất. Trong fabs wafer, thiết bị khắc, thiết bị lắng đọng, thiết bị in thạch bản EUV, thiết bị cấy ghép ion, thiết bị phát hiện và đặc tính hóa, v.v ... Tất cả đều cần được hút bụi.
Chức năng của máy nén là hít khí và nén nó, tăng áp suất của khí, nén khí vào một thể tích nhỏ hơn và tăng mật độ và áp suất của khí. Nguyên tắc làm việc của nó là nén khí qua van xả, sau đó đặt khí nén vào bình xăng hoặc thiết bị khác. Máy nén thường được sử dụng trong các lĩnh vực chế biến và sản xuất. Khí CDA mà chúng ta thường nói đến được cung cấp bởi máy nén. CDA được sử dụng để kiểm soát các thiết bị và van tự động hóa khác nhau. Đối với sản xuất chất bán dẫn, CDA phải rất tinh khiết và khô. Đầu ra không khí của máy nén cần phải đi qua một hệ thống lọc tinh vi để loại bỏ dầu, độ ẩm và các hạt khác để đảm bảo rằng không có sự ô nhiễm của wafer.
Các loại củaMáy bơm chân không?
Trong thiết bị bán dẫn, máy bơm khô và bơm phân tử thường được sử dụng. Một máy bơm khô đề cập đến một máy bơm chân không không sử dụng bất kỳ chất lỏng nào làm môi trường niêm phong hoặc làm mát, tránh vấn đề ô nhiễm hơi dầu. Nó thường được sử dụng để chiết bằng chân không thô của thiết bị bán dẫn. Bơm phân tử có thể đạt được mức độ chân không cực kỳ cao. Bơm khô và bơm phân tử thường được sử dụng kết hợp trong các thiết bị bán dẫn để đáp ứng nhu cầu của các mức độ chân không khác nhau.
Máy nén có thể được chia thành pít -tông, vít, ly tâm, máy nén khí xoay vòng, v.v.
Do các thiết kế khác nhau và các nguyên tắc làm việc của máy bơm chân không và máy nén, máy bơm chân không thường không thể thay thế máy nén. Mặc dù bơm chân không có thể làm giảm áp suất và mật độ của khí, nhưng chúng không thể nén khí thành các thể tích nhỏ hơn và áp suất cao hơn. Ngoài ra, do hiệu suất hạn chế và đặc điểm làm việc của máy bơm chân không, chúng phù hợp nhất để xử lý các loại khí mật độ thấp và môi trường áp suất thấp.
Do đó, nếu khí cần được nén vào một thể tích nhỏ hơn và áp suất cao hơn, nên sử dụng máy nén. Ngược lại, nếu khí cần được chiết xuất và trạng thái chân không được hình thành, nên sử dụng bơm chân không.
Mặc dù cả haiMáy bơm chân khônglà các thiết bị được sử dụng để xử lý khí, có sự khác biệt lớn trong nguyên tắc thiết kế và làm việc. Mặc dù bơm chân không có thể làm giảm áp suất và mật độ của khí, nhưng nó không thể thay thế máy nén, đặc biệt là khi khí cần được nén thành một thể tích nhỏ hơn và áp suất cao hơn.
